激光干涉儀系統(tǒng)具有高精度,、高靈敏度、非接觸式測(cè)量等優(yōu)點(diǎn),，可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長(zhǎng),、角度、直線度,、垂直度,、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量,?？勺鳛殚L(zhǎng)度基準(zhǔn)以及設(shè)備校準(zhǔn)工具,。廣泛應(yīng)用于數(shù)控機(jī)床、激光打標(biāo)/切割,、三坐標(biāo)、影像儀,、精密測(cè)量、自動(dòng)化,、機(jī)器人,、3D打印等領(lǐng)域。

在SJ6000激光干涉儀動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件配合下,，還可實(shí)現(xiàn)線性位移,、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè),，以及進(jìn)行位移,、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析，如振動(dòng)分析,、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析,、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。

部分技術(shù)指標(biāo)

主機(jī)

穩(wěn)頻精度：0.05ppm

動(dòng)態(tài)采集頻率：50 kHz

預(yù)熱時(shí)間：≤ 6分鐘

工作溫度范圍：(0~40)℃

存儲(chǔ)溫度范圍：(-20~70)℃

環(huán)境濕度：(0~95)%RH

環(huán)境補(bǔ)償單元

空氣溫度傳感器：±0.1℃ (0~40)℃,，分辨力0.01℃

材料溫度傳感器：±0.1℃ (0~55)℃,，分辨力0.01℃

空氣濕度傳感器：±6%RH (0~95)%RH

大氣壓力傳感器：±0.1kPa (65~115)kPa

線性測(cè)量距離：(0~80)m (無需遠(yuǎn)距離線性附件)

角度測(cè)量范圍：測(cè)量范圍：±10°

平面度測(cè)量范圍：±1.5mm

功能特點(diǎn)

精度高

SJ6000激光干涉儀以干涉技術(shù)為核心,，其光波可直接對(duì)米進(jìn)行定義,。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高精度,、抗干擾能力強(qiáng)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊,，可實(shí)現(xiàn)激光波長(zhǎng)和材料的自動(dòng)補(bǔ)償,；干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計(jì),，避免干涉鏡受熱影響，保證干涉光路穩(wěn)定可靠,。

功能廣

（1）可實(shí)現(xiàn)線性,、角度、直線度,、垂直度,、平行度、平面度,、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測(cè)量,；

（2）可檢測(cè)數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度,、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角,、扭擺角、直線度,、垂直度等,；

（3）可實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測(cè)量與校準(zhǔn),；

（4）可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表,，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)；

（5）具有動(dòng)態(tài)測(cè)量與分析功能，包括位移分析,、速度分析,、加速度分析,、振幅和頻率分析等,，可進(jìn)行振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等；

（6）支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。

產(chǎn)品配置

SJ6000激光干涉儀具有豐富的模塊化組件,，可根據(jù)具體測(cè)量需求而選擇不同的組件,。主要鏡組如下圖所列，依次為線性鏡組、角度鏡組,、直線度鏡組,、垂直度鏡組、平面度鏡組,、自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái),。

主要鏡組圖

其中,，線性鏡組為標(biāo)配,，由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成,?？蓾M足線性位移設(shè)備的定位精度,、重復(fù)定位精度、反向間隙的測(cè)量與分析,，以及反向間隙修正和螺距補(bǔ)償,。

傳感器線性精度測(cè)量

SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)自動(dòng)采集數(shù)據(jù)，避免人為讀數(shù)誤差,，精度高,；使用高性能氦氖激光器，結(jié)合伺服穩(wěn)頻控制系統(tǒng),，達(dá)到高精度穩(wěn)頻(0.05ppm),。